设计了硅微型惯性加速度计的敏感头并应用激光加工和化学蚀刻相结合的工艺方法制造得到了满意的结构 ,应用激光光纤测振仪检测了悬臂梁振动特性。

介绍了一种基于DSP的数字控制器的总体结构及控制器算法的设计。在此基础上构建了三轴静电悬浮系统，并通过仿真和实验讨论了不同采样频率对系统性能的影响。实验结果表明，系统带宽达到750Hz，谐振峰小于3dB，刚度等各项性能均满足静电悬浮系统的指标要求。