本文主要从迈克尔逊干涉仪的原理出发，详细介绍了在做等倾干涉和测量光波波长实验时，如何快速、准确地调节好迈克尔逊干涉仪。

介绍一种基于平面等倾干涉原理的机器视觉高精度平面度测量系统。它利用等倾干涉原理，通过CCD提取随平面度变化的明暗相交干涉圆环条纹信息，根据条纹中心不变性和中心对称性，以开始测量点适当级次条纹中心为参考条纹，间隔90°建立4个扇形窗口，对窗口内条纹信息处理，得到细化后条纹与参考条纹径向间距，参照前一测量点干涉条纹径向位置，得到干涉条纹在各测点的变化量N。该N值既能反映出半波长整数倍，又能反映半波长小数倍的测点高度差信息，利用最小二乘原理，处理N值，得到极高精度的平面度测量误差。

文章介绍了一种应用数字图像处理技术进行等倾干涉测量的方法.它利用CCD摄像器件获取等倾干涉条纹,然后用数字图像处理技术对获取的干涉图像进行处理、提取中心条纹、测量干涉环直径等操作.文章最后给出了依据这一测量方法进行实验的实验结果,证明了该方法的可行性.

介绍了一种新型的基于平面等倾干涉原理的高精度平面度测量系统。系统利用等倾干涉原理，通过CCD提取干涉条纹信息，根据干涉条纹在窗口尺坐标上的位置，并联系相邻测量点干涉条纹方向以确定干涉条纹在被检测平面上的变化量N；借以得到既能反映出半波长整数倍，又能反映半波长小数倍的平面度误差。