本文介绍了一种智能化激光荧光扫描光谱仪，可对大尺寸光致荧光样品进行扫描分析，从而获得需要的整体信息。进一步以发光二极管(LED)外延片为例，介绍仪器进行外延片在线无损检测的应用。该仪器可迅速对LED外延片进行在线检测，给出相关参数。实现智能化检测。