简要介绍了太赫兹波的产生、探测方法和主要特点.综述了国内外在太赫兹波领域的研究进展.以太赫兹波技术对航天飞机燃料箱绝热泡沫层成功检测为例,阐述了太赫兹波无损检测新技术的特点、适用条件和在航空航天领域的应用.

介绍了用于加工太赫兹波元件的微机械加工技术（铣削、放电加工、电铸、湿法腐蚀Si、干法腐蚀Si、厚光刻胶：SU-8和LIGA）及其最新结果。重点描述了应用于太赫兹波的器件和集成电路,如将可用于太赫兹波的各种新颖二极管、半导体纳米器件、新的高电子迁移率晶体管、毫米波集成电路、量子器件、红外器件、量子级联激光器（单极级间跃迁激光器）。基于带间跃迁量子机理的半导体器件（譬如量子级联激光器）的频率极限高于与半导体能带隙相关器件的频率,其大多数体半导体的频率可以达到10THz以上。但是,基于经典的电子扩散传输机理的二极管、三极管的高频极限则受限于渡越时间和寄生参数RC时间常数。

应用平面波展开法研究了太赫兹波段二维光子晶体的传输特性，设计了一种新型的太赫兹波段传输器件，即由正方柱组成的正方晶格光子晶体。研究了它形成的最大TE模、TM模和完全带隙，并与由圆柱组成的正方晶格二维光子晶体的最大TE模、TM模和完全带隙进行比较，发现正方柱组成的正方晶格二维光子晶体形成的TE模较大。结果表明，正方柱组成的正方晶格二维光子晶体适合制作H极化片，可以制作太赫兹波段的传输器件。