配扫描电子显微镜的波长色散X射线谱仪(简称WDX或WDS),近来在微观分析领域吸引较多的关注.这其中很大原因是新一代高精度自动聚焦平行光X射线波谱仪的推出.这种波谱仪具有独特紧凑型设计,尺寸小;去掉了传统的罗兰圆光学系统,结构较简单;与扫描电镜的接口和能谱仪的接口一样大,可以安装在绝大多数的扫描电镜上.

叙述了一种自动对焦式焦度计,该仪器主要由照明准直系统,光电转换系统,微机数据处理和显示打印系统组成.介绍了该仪器的工作原理,基本结构,主要技术指标.并通过实验证明该仪器原理先进,操作简单,可自动读数,具有较高的测量精度.

利用光线追迹与实验的方法，对菲耳透镜在平行光照明时的成像特性进行了分析，给出了在各种角度入射情况下的最 位置及像点弥散斑大小，通过对结果进行分析，得出了最佳像面曲线及其特征与参数。并讨论了它们与菲涅耳透镜参数的关系。

通过照明光路用平行光将工件投影在CCD的光敏元上成像，可以获得被测直径。CCD输出的视频信号微弱且存在高频干扰，首先需要进行滤波放大，本文介绍RC-τ型低通滤波器和无限增益多路反馈二阶低通滤波器两种。由于光源发光强度不稳定和光路系统的调节不完善，导致光带边缘存在一定色散，输出信号在光照和阴影边界处存在着由明到暗的过渡，需要进行二值化处理，采用比较法和微分法。使用电压比较器时阈值的确定有固定电平和浮动电平两种，后者精度高；微分法是首先通过微分电路对应视频信号的上升沿与下降沿输出两个极性相反的尖脉冲，然后通过半波整流电路、过零比较器和维阻边沿D触发器得到表征被测尺寸的方波。最后，用高频脉冲对方波进行填充，计数器计数。

介绍了精密型锭子测振仪的基本原理、定标及振幅测量的2种取值,并阐述了研究柱面体转动偏摆量的一般方法。