介绍了一种利用波面干涉仪和精度为0.2″的端齿盘组合测量六面体相邻两面垂直度误差的新方法,建立了基于最小二乘算法的评定垂直度误差分布的数学模型,介绍了测量装置及测量实验步骤。该方法不但测量精度高,而且能够获得两个面之间垂直度误差分布数据,可用于六面体面体形位误差的高精度修形加工。针对精度为2″的标准直角棱镜的测量实验表明该方法测量结果可信,精度优于0.5″。可推广到其他多面体类零件形位误差的高精度测量。

近年来，在红外成像系统中，广泛应用各种不同类型的扫描镜。根据系统的工程参数、使用条件等的不同，扫描镜的基体材料可以选用光学玻璃，也可选用金属，对于尺寸较小和转速较低的扫描镜，其基体材料还可选用某些晶体材料，如锗和硅等。