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环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究

作者: 王孝坤 张学军 王丽辉 郑立功 来源:光学精密工程 日期: 2023-05-01 人气:24
环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究
利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。

环形子孔径测试的迭代拼接算法及其实验验证

作者: 戴一帆 曾生跃 陈善勇 来源:光学精密工程 日期: 2022-12-04 人气:3
环形子孔径测试的迭代拼接算法及其实验验证
在子孔径拼接和定位算法的基础上研究了环形子孔径迭代拼接算法。该算法可通过精确找出重叠点对和寻找最优位形两个步骤来简化。研究了该算法在环形子孔径拼接测量中出现的如何确定重叠点的问题,并详细介绍了该算法的步骤。最后对160mm口径的抛物面进行了拼接测量实验,拼接结果的PV值为0.186X,RMS值为0.019k,与自准直全口径测量结果基本一致。结果表明,环形子孔径的迭代拼接算法能够满足非球面镜的高精度测量。
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