设计了一种新结构的MEMS（Micro Electro-Mechanical Systems）倾角仪,该倾角仪基于压阻测量,采用SOI工艺和后续加工完成.描述了该MEMS倾角仪的设计、测试及其角度解算方法.进行了角度测试实验,结果证明了解算值与实际值符合良好,且该倾角仪具有很高的灵敏度和360°的测量范围.

设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计.器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形.比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率.微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压.力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号.5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994 Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍.加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺.