提出了一种基于Fabry-Perot板干涉的角位移测量新方法.此方法采用函数近似,只需将初始入射角确定在40(到50(之间,即可由角位移与干涉信号条纹数变化间的函数关系,高精度测量角位移.解决了采用F-P板干涉法测量角位移需精确确定入射光初始角的问题.使用计算机处理采集的干涉信号,对干涉条纹进行细分,实现干涉信号相位测量的高分辨力.理论模拟和实验结果得出本方法可以实现精度为10-5rad数量级的角位移测量.该方法的测量装置采用带尾纤的半导体激光作为光源,由自聚焦透镜准直,出射光束直径为0.5mm,使探测头为小光斑.该装置结构简单,能实现小型化.

采用显微栅线投影法结合相移技术测量了微镜在不同驱动电压下的转角,并同理论值进行了比较,平均误差为4.5%,结果表明:测量值和理论值比较吻合.

提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转，从而实现二维开关功能的MEMS光开关．使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析，并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化．通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90°的大角度扭转，使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率，将制动电压降至18V．引入背面梳齿提高开关响应速度，模拟结果表明，光开关具有毫秒量级响应时间．与其他设计相比，该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点．