在较高精度面形测量的光学方法中很多测量范围都受到光波波长的限制。简述了一种利用光栅投影系统 来增强其垂直方向测量范围的新方法。通过投影仪来产生能够消除表面低频变化影响的变形光栅测量该栅线经过被检面的变形图像通过处理得到表面的高频信 息然后将高频和低频信息叠加得到表面轮廓图。通过实验模型的建立证明该方法具有测量精度范围宽能实时地得到表面轮廓图。

激光,这种具有优良相干性的新光源的发明,使古老的光学焕发出青春活力,成为当代最活跃的研究科学之一.干涉度量学也获得新的发展,激光光源的引入不仅使经典干涉技术开拓了测试范围,提高了测量精度,而且由于激光技术带动了全息、散斑技术的进展,引入了一种新的获取相干光波的技术--二次曝光技术,研制出许多种不同经典干涉仪的新型干涉仪,拓宽了干涉度量学的概念.传统的经典干涉仪只能检测透明介质的性能和检测光学表面的缺陷等,全息、散斑干涉仪的功能扩展到检测任何实际粗糙表面的形变、位移、物体的轮廓等特性,而且莫尔干涉技术和光纤干涉仪在测试计量、传感器开发方面获得广泛用途.本文首先介绍二次曝光全息干涉原理,利用两次曝光之间形成的莫尔条纹对物体的表面轮廓及形变进行了测量,给出了对应的莫尔条纹方程式,并对这种...

本文所述的超光滑表面无损检测轮廓仪，无需标准参考面；利用双焦干涉作非接触无损检测；利用干涉及电子共模抑制技术可有效地抑制各类噪音；计算机控制测量，即时给出表面粗糙度参数，与ＷＹＫＯ比对，结果吻合。仪器特别适合于均方根值Ｒｑ为纳米及亚纳米量级的软质金属材料及膜层表面测试。其横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ。

依据白光干涉理论，利用相移干涉法，研究了三维表面轮廓测量的原理与系统构成，讨论了白光相移干涉法测量三维表面轮廓的算法和数据处理的实现过程，实验结果表明，测量结果和数据处理都可精确地满足被测工件的要求。

本文简述非接触表面微观形貌测量技术的发展概况，并对几种新型干涉测量仪器的工作原理和作了简单介绍。