阐述利用半导体激光的频率变化和波长变化测量干涉仪光程差的基本原理，探讨一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法，即端点干涉测长法的原理，推导这种方法测量长度的公式，指出这种方法区别二其它干涉测长方法的独特优点，最后讨论测量中的注意事项以及需要深入的研究的问题。

介绍了一种干涉波面的Zernike多项式拟合方法，该方法从构造的正规方程入手并对其进行逐步回归分析，从众多的Zernike多项式模式中选取影响显著的模式。采用仿真波前对本文提出的波面拟合方法进行了验证，结果表明该方法可以得到干涉波面的最优模式组合，有效提高波面拟合的精度，拟合的PV和RMS相对误差仅为1．11％和0．07％。