光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究
提出一种新型声光波导相位调制技术,用于光电集成M-Z光波导干涉型加速度计的信号调制.相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上,工作波长为1.3 μm.主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计,结果为:氧化锌薄膜尺寸5×0.8×0.003 mm,叉指换能器叉指对数N=17,中心距l=27.19 μm,中心频率f0=48 MHz,中心指长L0=4.46 mm.
声表面波天平检测卫星污染
通过对声波表面天平历史发展、声波天平传感器类型、声表面波器件、声表面波传感器原理和特点的阐述,讨论了其在空间监测卫星污染的可行性,通过对该项技术的深入研究后表明,声表面波技术可应用在污染敏感卫星的微量监测领域。该项技术在空间环境监测方面具有广泛的应用前景。
声表面波器件及其应用
介绍了声表面波器件的原理及其特点,分析了声表面波器件的应用领域,并预测了其发展前景。
基于声表面波技术的微流体混合及仿真
报道了在微流系统中使用基于叉指聚焦换能器的声表面波的一种有效方法。利用lift-off和软光刻技术在铌酸锂(LiN-bO3)压电单晶片基底上制作器件。使用有限元分析软件COMSOL Multiphysics分别模拟聚焦叉指电极和平行叉指电极两种声表面波的形成和分布。通过与相同条件下的平行叉指电极比较,说明聚焦叉指电极可以显著增强声表面波的能量。实验结果说明聚焦叉指电极可以在几秒内快速的混合PS(聚苯-乙烯)球。这种器件为生物应用提供了一种有用的微流芯片体系。
宽带SAW-IDT衍射分析
在比较了现有分析声表面波(SAW)叉指换能顺(IDT)衍射的各种方法后,指出了一种新方法,它直接从产生SAW的IDT上电荷分布出发,结合波传播特性及压电材料的各划性,推导出了严格的SAW波角谱表达式,再转化为时域脉冲响应,在叔域对衍射的影响进行了宽带分析,对实际SAW实际波器模拟计算表明,本算法精确简便,在频域与传播范围上皆具有宽带特性。
SAW传感器在智能血凝仪中的应用
针对现有血凝仪中所用的光电比浊法和双路磁珠法的不足,提出了一种新的血液凝固检测方法——声表面波(Surface Acoustic Wave简称SAW)传感器检测方法,介绍了检测电路和信号处理电路的结构设计和工作原理,对所用SAW传感器进行了相关参数的验证,对血液粘度建立了相应的数学模型,实验结果证明了SAW传感器在血凝仪中的可行性和优越性。
光电集成加速度地震检波器中声光波导相位调制器的设计与实验
提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS).为实现硅基底上的光波导M-Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法.该相位调制器利用叉指换能器(IDT)激发出声表面波(SAW)实现对光波导的相位调制.在对光波导声光相位调制机理深入研究的基础上,设计并制作了器件.实验结果与理论相一致.
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