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> 扫描探针显微术
用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术
作者:
王晓东
常城
宋洪侠
来源:
传感器技术
日期: 2023-04-22
人气:13
随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要.对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术--扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍.
关键词:
扫描探针显微术
微观几何形状
传感器
STM
扫描光学近场显微术
原子力显微术
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