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> 粘附“突陷”
MEMS微梁粘附“突陷”静力分析
作者:
田文超
贾建援
来源:
机械科学与技术
日期: 2023-04-15
人气:13
"突陷"现象严重影响着MEMS微梁性能.根据Hamaker微观连续介质修正理论,建立了MEMS微梁同基座粘附力包含斥力的数学模型;分析了微梁的静力平衡关系,发现引起微梁"突陷"的本质是弹性力同粘附力的不稳定平衡问题;通过增加微梁刚度,提出一种控制微梁"突陷"发生的方法,并给出仿真结果.
关键词:
MEMS
粘附“突陷”
Hamaker微观连续介质修正理论
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