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MEMS微梁粘附“突陷”静力分析

作者: 田文超 贾建援 来源:机械科学与技术 日期: 2023-04-15 人气:13
MEMS微梁粘附“突陷”静力分析
"突陷"现象严重影响着MEMS微梁性能.根据Hamaker微观连续介质修正理论,建立了MEMS微梁同基座粘附力包含斥力的数学模型;分析了微梁的静力平衡关系,发现引起微梁"突陷"的本质是弹性力同粘附力的不稳定平衡问题;通过增加微梁刚度,提出一种控制微梁"突陷"发生的方法,并给出仿真结果.
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