针对现有微拉伸台系统误差较大的问题，作者研究了提高微拉伸台测量精度的数据处理方法．设计了高速、高精度数据采集系统，对比了线性拟合、多项式拟合、分段拟合和逐点比较数据处理方法，分析了各种数据处理方法在消除系统误差中的优缺点．数据处理方法采用Vc＋＋语言编程实现，可以在线矫正系统误差．实验结果表明，灵活运用上述处理方法可以有效地提高微拉伸台测量精度．

采用40kHz中频脉冲电源，利用电容耦合等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术，以六甲基二硅氧烷（HMDSO）为单体、氧气为反应气体，氩气为辅助气体，在PET薄膜表面沉积应用于透明高阻隔包装的氧化硅薄膜，并对其进行研究。在薄膜的制备过程中，为了了解氧化硅的形成机理，通过四极杆质谱仪对等离子体放电的气相中间产物及活性粒子进行原位检测；而通过傅立叶变换红外光谱仪（FTIR）及原子力显微镜（AFM）对沉积薄膜进行化学组成及表面形貌分析表征，探讨沉积过程中等离子体气相粒子的产生和反应对薄膜特性的影响。