基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点，在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜，其偏转角度可以通过驱动电压控制；对这种结构建立了理论模型，对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分析；简要介绍了这种微反射镜的加工工艺；并对微反射镜样机做了原理性实验研究。微反射镜镜面面积为1240／Lm×980／Lm，最大偏转角度约为2．6°，吸合电压约为27V，固有频率为750Hz左右。

反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分，近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新进展。根据反射式微光机电系统的分类，列举了一些具有代表性的反射式MOEMS器件。简要介绍了反射式MOEMS的加工工艺；阐述了反射式MOEMS的应用领域；展望了发展前景。