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宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计

作者: 柯常军 王占山 郑咏梅 张铁强 曹健林 陈星旦 来源:光学精密工程 日期: 2023-08-18 人气:4
宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计
提出了一种宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计方法,给出了18nm-20nm波段的设计结果,整个波段的反射率与25%的最大偏差小于1.5%,这种方法对于软X射线波段的成像,光谱分析等应用有重要意义。
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