微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一.本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析.

相位图像去包裹运算是三维形貌测量的重要环节，用于获得真实的相位分布。该文提出了基于测地学腐蚀的去包裹算法，首先根据包裹相位图像选取mask与marker图像，并在mask图像的限制下对marker图像进行测地学腐蚀运算，然后对腐蚀后图像的补集采取相同的腐蚀运算，以消除包裹相位图的阴影、断点等噪声，最后利用五帧去包裹算法对腐蚀预处理后的相位图进行相位恢复。实验表明，该方法有效地消除了相位图像中的断点、空洞和阴影等干扰因素，为实现高精度的表面形貌测量奠定了基础。