介绍了根据光学自适应原则设计的外差自适应激光准直系统，包括确定主要噪声因子以及对主要噪声因子实现光这自适应设计，该光学系统可以自动清除由于光束平移和角漂对测量产生的误差，同时允许在测量过程中将测量元素移出光路之外，因此可以用于同轴度测量，实验表明，该系统比其它准直仪上有更高的分辨率和稳定性，与ＨＰ公司双频激光准直仪相比具有相同的分辨率和稳定性，而没有近程死区，实现了状态测量，具有广泛的应用范围，该

为了使双频激光干涉仪的高精度和可靠性能够在当前急需解决的大尺寸高精度同轴度，直线度测量方面有效的发挥出来，有必要在双频激光干涉仪的信号处理方面采用比相技术，为此，需要稳定Ｚｅｅｍａｎ激光的频差。本文提出了一种基于８０９８单片机系统的智能化稳频差方案，不但保证了频差的稳定性，而且每次开机还能自动搜寻频差极值，从而保证了光频的复现性。系统经过实验验证，频差变化小于５ｋＨｚ／５ｈ工作稳定可靠，可以满足比