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万能测量机校准步距规示值的测量不确定度分析

作者: 晏浩 来源:计量技术 日期: 2023-02-17 人气:7
万能测量机校准步距规示值的测量不确定度分析
用60年代德国产的Leitz万能测量机(UMM)与激光干涉仪组合成激光长度测量系统对步距规进行校准,分析其不确定度的来源,并进行评定。
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