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> 晏浩
万能测量机校准步距规示值的测量不确定度分析
作者:
晏浩
来源:
计量技术
日期: 2023-02-17
人气:7
用60年代德国产的Leitz万能测量机(UMM)与激光干涉仪组合成激光长度测量系统对步距规进行校准,分析其不确定度的来源,并进行评定。
关键词:
步距规
激光干涉仪
万能测量机
光学灵敏杠杆
不确定度
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