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> 杨清风
元器件表面缺陷新型检测装置
作者:
宋晓辉
杨清风
来源:
计量技术
日期: 2023-02-16
人气:1
巧用光学构件形成平行光束回转,使结构简单而小型化,脉冲检测采用次摆线扫描,缩短了检测时间,利用光一次回转周期的脉冲振荡模式,能识别被测元器件的不同表面缺陷(伤痕,裂纹,裂缝等)、分布密度及其交错状态。
关键词:
表面缺陷
伤痕
裂缝
平行光束
次摆线扫描
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