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变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试

作者: 刘楷 薛松 卢启鹏 彭忠琦 吴坤 陈家华 王勇 巩志华 来源:核技术 日期: 2023-10-30 人气:4
变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试
在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中,为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求,平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0.43″。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统,可以对平面镜和光栅机构进行测试。应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0.166″,光栅转角重复精度为0.149″,分辨率达到0.03″,满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求。此外,还测量了光栅切换机构的重复精度。
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