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扫描探针电子能谱仪控制系统的研制

作者: 刘文杰 徐春凯 张盼科 耿立威 徐克尊 陈向军 来源:核电子学与探测技术 日期: 2023-02-21 人气:5115
扫描探针电子能谱仪控制系统的研制
报道了自行搭建的扫描探针电子能谱仪(SPEES)控制系统的硬件及软件实现。该系统包括探针三维扫描控制、谱仪通过能电压扫描控制及样品电流反馈控制,在针尖控制上能够实现x、yz、三个方向上的定位以及恒高模式与恒流模式的扫描,在电子能谱测量上能够实现能量定点模式和能量扫描模式。对石墨表面Ag岛及石墨表面Au纳米结构的SPEES实验验证了该系统可靠性与稳定性。
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