由纳米硬度计可测得载荷-压深曲线，并由原子力显微镜可以扫描得到压痕图。在对单晶硅压痕硬度的检测试验中，用Matlab软件对获得的数据进行处理，编制了利用压痕边长法、直接面积法、Olive-Pharr法和压痕功法等计算压痕硬度方法的程序，可以自动计算压痕的面积和体积并计算得到单晶硅的硬度值。