单频激光干涉仪采用整体式的布局，提高了测量系统的稳定性和灵敏度，光程差放大技术，提高了系统的分辨率，利用偏振光移相和共模抑制的方法，对干涉仪的4路相互正交的信号进行差分处理，减小光强零漂以及环境变化对系统的影响，最终通过误差补偿修正处理，系统可以获得高质量的输出信号。