讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试.微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长的氮化硅为悬臂梁,聚酰亚胺为牺牲层.功能测试表明,该工艺制备的微机械开关的执行电压只有25V,优于同类微机械开关的指标,同时它具有良好的响应特性.

基于IBM0.18μm标准CMOS工艺,设计了一种适用于UHF RFID（Radio Frequency Identification）阅读器的信道选择滤波器。这种滤波器和其他结构滤波器相比,可以获得更高的线性度和更好的噪声特性。设计中,低通滤波器截止频率0.3~1.3 MHz范围内可调。当截止频率设置为900 kHz时,带内增益稳定在0 dB,在1.8 MHz频率处具有大于49 dB的幅度衰减。