根据石英晶体真空退火炉的工艺过程和控制要求，设计了以SIMATICS7—300PLC为核心，以工业触摸屏为人机界面的电气控制系统。采用具有智能积分环节的模糊控制算法实现多工作区温度控制，讨论了积分引入的条件。实践表明：该控制系统运行稳定可靠，各项性能指标均满足工艺要求。