对多孔介质电渗泵性能进行研究,分析电渗泵的流率和压力,为多孔介质电渗泵制作提供参考。依据电渗流控制方程,利用Debye-Huckel近似得到单根圆形管电渗流的近似解析模型,采用MEMS数值仿真软件CoventorWare对电渗泵模型进行求解分析,得到电渗泵流场的分布。基于电渗流的近似解析模型,采用截断高斯分布对多孔介质电渗泵进行分析,得到考虑孔径分布的多孔介质电渗流的近似解析模型。电渗泵的性能实验结果表明：电渗泵的最大流率为16.89 mL/min,最大压力为120.1 kPa。流率已达到mL/min的数量级,压力大于一个大气压,该电渗泵适合应用于冷却系统。