利用半导体激光器作为相干照明光源，通过改变半导体激光器温度来改变其波长，实现了步进相移干涉计量。在理论分析和实验研究的基础上建立了半导体激光器温控调频相移干涉仪系统，该相移干涉体积小，结构简单，且工作可靠。

介绍了到目前为止的几种任意步距步进相移算法,并针对相移干涉仪的两种主要误差———移相误差和探测器非线性误差进行了计算仿真,进而比较分析了它们对这这些误差的抑制能力,其结果可为实际应用合理地选择算法提供理论依据。

提出利用改变半导体激光器温度来改变波长，在相移干涉仪中实现步进相移计量的新方法，利用此法可省去附加相器，使相义结构简单、工作可靠。