简要描述了MEMS系统的特点，介绍了基于MEMS技术的惯性测量器件及系统在国外的发展现状及应用情况，从武器系统低成本、小型化、高可靠性的发展趋势说明了武器系统中使用MEMS技术的必要性，同时根据武器系统对惯性测量器件的要求，通过国外武器系统中的成功应用说明了MEMS技术在飞航导弹或无人机的控制系统中使用的可行性，最后针对国内MEMS技术的发展情况，对MEMS惯性测量器件及系统在武器系统中的应用提出了相关要求。