碧波液压网 欢迎你,游客。 登录 注册

激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用

作者: 司卫征 何梦佳 林建荣 来源:计量与测试技术 日期: 2023-11-08 人气:29
激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用
为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度。根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍。实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观。
    共1页/1条