根据最小二乘圆法建立圆度误差的数学模型，分析偏心、测头安装不对心及工件安装不水平等一些人为因素对圆度误差的影响。仿真结果为准确测试提供了理论依据。

针对大平面度测量，设计一种新的平面度测量系统，该系统摒弃了高精度大平面度测量所需要的高精度导轨、高精度光学平面等，而是以液面作为一个平面基准，用干涉仪标定出测量系统的系统误差，然后用接触式传感器测量被测件，再进行误差分离，将系统误差从测量误差中分离出去，从而达到对大平面度的高精度测量。