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> 吴君君
基于电子散斑干涉技术的圆度误差测量方法
作者:
吴君君
宋伟
段晓飞
来源:
激光杂志
日期: 2023-11-06
人气:16
分析现有圆度误差的几种测量方法的优、缺点后,提出一种基于电子散班干涉技术的圆度误差测量与评定的新方法,测量结果表明,新方法简单易行、精确度高,有一定的应用前景。
关键词:
圆度误差
测量
电子散斑干涉技术
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