微压力接触式台阶仪是一种二维形貌检测仪,针对汽车金属缸垫等薄片型金属板冲压零件的表面尺寸测量研制而成。本文从工作原理出发,分析了影响系统精度的三个原因：测量臂旋转误差,光学系统畸变,工件倾斜影响。通过软件校正和参数补偿,提高了系统测量精度。实际测试证明,误差校正能够提高仪器测试精度,仪器最小分辨率能达到2μm,测量重复精度达到了5μm。