为了实现多通道声发射监测仪中对从传感器接收到的声发射信号进行低通三档和高通三档的程控滤波．基于可程控开关电容有源滤波器MAX262，设计出了一种由低通滤波器和高通滤波器级联而成的切比雪夫型带通滤波器，并通过单片机控制两个时钟产生器DS1099的使能端，选择不同的时钟频率，实现了信号处理模块中所有截止频率的覆盖。结合MAXIM公司提供的滤波器编程辅助软件，给出了各个频点的滤波器编程参数及软件设计主程序流程图，为多频段可程控滤波器的设计提供了新的思路与方法。实测结果表明，该滤波器的滤波效果良好。

本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。

多极射频消融治疗系统是一种利用射频加热技术和热生物效应原理治疗人体肿瘤的医疗设备。通过软件控制算法和硬件调节结合，该系统实现了治疗过程中治疗温度和时间的精确控制。本文介绍了基于改进PID算法的多极射频消融治疗系统的研制，详细讨论了该系统的工作原理、硬件结构及软件结构。

为提高微机械陀螺的检测精度,稳定驱动振动速度幅度,提出了微机械陀螺的自激驱动方式,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上振动,以及保持恒定的驱动振动速度幅度.根据自激驱动电路原理,建立了驱动动力学方程的等效电路模型,用PSPICE软件对电路的工作状况进行了模拟,模拟结果验证了该方法切实可行.

介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作.新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼,且几乎相同,惯性质量块为栅型结构,由弹性悬臂梁支撑;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方.分析了新型陀螺的工作特性,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响.实验结果表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动和敏感检测品质因子Q均可达到66.

利用有限元方法,研究振子框架式微机械陀螺主要几何尺寸对其固有频率的影响.根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸,并为结构改进和制备工艺提供理论指导.

介绍了一种基于滑膜阻尼效应的新型音叉式微机械陀螺.该陀螺包括两个驱动质量块和由各自驱动质量块支撑的检测质量块,通过检测质量块上的栅形电极与玻璃衬底上的固定检测电极之间的电容变化实现角速度信号的检测.对陀螺进行了结构设计和分析.在陀螺芯片的制作过程中,解决了深反应离子刻蚀过程中的根部效应和滞后效应等问题.初步测试结果表明,该陀螺灵敏度和非线性度比较理想.