平面度是形状公差的主要项目之一，其误差的测量与评定在几何测量中有着重要的意义。根据最小二乘法原理建立理想平面的数学模型，对平面度误差进行评定分析，并举例说明了Excel在平面度误差数据处理方面的可行性。结果证明Excel在平面度误差最小二乘法评定过程中进行数据处理简单实用，有推广价值。