本文叙述以激光光声（光热）光谱技术为基础的一种吸收光谱成象技术。指出其显示的灰度编码象除了可直观地显示物质表面的吸收均匀性，识别可能存在的杂质外，还可检测到次表面的缺陷、杂质等。实验初步论证了以激光为光源的方案具有高的信噪比，并分别以输出１０ｍｗ的Ｈｅ－Ｎｅ激光和输出３ｗ的ＣＯ２激光为光源，获得了表征单晶硅园盘切片表面吸收特性的信号振幅象。

为了检测压电薄膜的在电场作用下的微小形变，同时避免基底弯典效应的影响，设计了一种双光束探测干涉仪，通过反馈控制和锁相检测技术，实现了高稳定度、高分辨力的目标，最小可探测形变可达到0.001nm。系统采用计算机控制测量和数据处理，使测量更加佰、准确。