简述了行波超声马达的基本原理，比较了定复合圆板分析中有限元和典振动理论两种方法的优点。并利用有限元方法分析了定子板在自由状态下的固有频率及固有振型，给出了分析结果。

微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来.它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单.本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用情况进行了详细、全面的介绍,同时指出了压电驱动器研究领域需深入探讨的关键技术.