本文通过实例给出用节距法测量平面度误差时,测量结果不确定度的相关计算方法,改进了通常按独立测量计算方法存在的问题,并给出了基于矩阵法的相关算法.

主动抗振技术是目前抗振干涉仪中研究的难点,其代价小、易于实现的方案是机电反馈式.在这种技术中振动信号的探测很关键,基于文中提出的采用单个光电二极管探测相位的抗振技术,获取的相位量数字化后由数字信号处理器分析得到应该补偿的振动量,送压电陶瓷(PZT)进行补偿.论述了系统各部分的工作原理和电路设计,并给出了实验结果.实验表明,本方案对于小于100wave·Hz的振动具有较好的效果.