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> 才海男
微机械技术发展现状
作者:
才海男
周兆英
来源:
哈尔滨工业大学学报
日期: 2024-04-21
人气:15
介绍了微/纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。
关键词:
微型机械技术
微电机
微传感器
微执行器
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