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微机械技术发展现状

作者: 才海男 周兆英 来源:哈尔滨工业大学学报 日期: 2023-07-15 人气:15
介绍了微/纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。
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