本文运用力学分析方法,揭示了工程实践中的基于中心轴支撑的大口径高精度反射镜面型变化机理,通过有限元分析结果与实验结果的对比,提出了使用装调手段控制其在微小范围变形的基本方法;在对520mm口径中心轴支撑椭球面反射镜进行装调的实例中,运用该方法获得了RMS值1/50λ(λ=632.8nm)的面型精度.

由于非球面光轴的唯一性，非球面定心工艺中需分别定义顶点偏心误差和球心偏心误差．通过估算顶点偏心在传统定心仪上的测量误差，可以发现传统定心仪很难达到控制目的，而干涉测量方法却能得到较高的准确度．理论推导和模拟计算表明：顶点偏心角与偏心彗差之间有线性关系，顶点偏心角的彗差灵敏度与非球面的陡度成正比．使用干涉检测的方法可以同时控制非球面的两种偏心误差，且其检测准确度可以达到0．02mm．