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锥形光栅衍射特性分析

作者: 吴琼 杨静 袁波 林斌 钱劲松 来源:光子学报 日期: 2023-07-09 人气:3
锥形光栅衍射特性分析
针对光学绝对式编码器的分辨率和尺寸之间的矛盾,自行设计了一种锥形光栅进行高位细分.以夫琅和费衍射理论为基础,分析了锥形光栅的光学衍射特性,初步推导了利用锥形光栅实现光学细分的基本原理,并通过实验验证了上述的理论分析结果.
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