随着微电子机械系统(MEMS,Micro Electro Mechanical System)研究的深入和产业化的需求,其检测在MEMS中的重要性越来越大.光学检测方法以其非接触、快速、高精度等优点得到了大量的应用.分析和介绍了国内外采用光学检测法进行MEMS检测的方法及相关检测仪器在测量中的应用.尤其是Nanosurf测量仪器,它是一种独立的三维非接触测量系统,扫描共焦显微镜是基于白光共焦技术,强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快,而且精度很高,并且提供了多种不同的表面分析方法.