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平面集成微透镜阵列的研制

作者: 覃亚丽 毛培法 王家诒 石旭刚 来源:浙江工业大学学报 日期: 2023-07-03 人气:23
介绍了集成微透镜阵列光学器件,建立了开孔式离子扩散的数学模型,并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数,并研制成功该器件且给出其光学特性参数。
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