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> 覃亚丽
平面集成微透镜阵列的研制
作者:
覃亚丽
毛培法
王家诒
石旭刚
来源:
浙江工业大学学报
日期: 2023-07-03
人气:23
介绍了集成微透镜阵列光学器件,建立了开孔式离子扩散的数学模型,并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数,并研制成功该器件且给出其光学特性参数。
关键词:
平面集成
微透镜阵列
集成光学
离子交换
光学器件
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