从普朗克黑体辐射定理出发,根据可见光和高温(1000 K以上)条件,简化单色辐射率表达式.在此基础上,在探测系统可接收的光谱带内,求得其所有光谱成分综合的、以温度表示的光辐射度解析表达式,并分析其应用条件.利用该解析表达式,进行计算机数值仿真,得到温度与光辐射度关系的理论曲线;同时,利用光辐射度探测系统和热电偶测温仪进行试验,得到温度与光辐射度关系的试验曲线.比较理论曲线和试验曲线,发现它们之间虽有误差,但变化趋势吻合.最后,对光辐射度测温方法的局限性和不足之处进行了分析,提出了改进措施.

在约定的工作条件下,列出了MEMS多层悬梁微执行器热传递方程和初始条件、边界条件,并得到解析解,建立了电-热分析模型.利用Matlab软件包和ANSYS软件包分别进行解析解分析和三维有限元分析,并进行比较.结果表明在500 K附近静态/稳态工作时,对于材料层厚度di＜bL,i=1,2,3,得到温度分布沿长度方向不一致,沿宽度方向一致.解析模型与有限元分析的误差可以小于5%,说明多层悬梁微执行器二维电-热解析模型是有效的.

概述了微反射镜阵列器件的分类、其主要驱动方式，以及现有商用阵列器件的情况。就4种驱动方式，介绍了其机电特性和工艺特点，并进行比较分析，指出选择驱动方式应依据应用的性质、工艺集成难度和成本效益原则。总结了微反射镜阵列器件在5个方向的应用。最后，阐述了微反射镜阵列器件技术展望。