微型加速度计作为一种新型惯性传感器，它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速计无可比拟的优势，３１４０型压阻式微硅加速度计是美国ＩＣＳｅｎｓｏｒｓ公司的产品。文中介绍了它的结构设计和工作原理，并对其重要性能参数进行了测试和分析。