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桥式硅压阻器件在气压测量中的应用
作者:
祝宇虹
纪军红
孙宁
来源:
传感器技术
日期: 2023-06-27
人气:16
介绍了桥式硅压阻器件的工作原理、性能指标和工作特点.通过设计实例说明了压阻器件的应用方法.试验证明:这种气压器件精度高、测量范围宽、体积和普通IC芯片相同、价格低,可以广泛应用在各种气压测量和控制领域.
关键词:
压阻效应
桥式压阻器件
气压测量
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