设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计，该设计采用2个检测质量块，分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x，y水平方向不对称梳齿的设计，消除了z轴对水平轴向加速度的干扰，同时z轴支撑梁的设计，解决了水平轴向对z轴的干扰。电容的差分结构有利于提高加速度计的检测性能。用Ansys仿真软件对敏感结构进行静态和模态分析，理论上验证了所提出的三轴电容式加速度计整体结构的可行性。