针对长导轨直线度传统测量方法中存在的问题，研制了一种基于激光楔形平板剪切干涉测量的便携式激光干涉准直系统。根据剪切干涉测量原理，设计了光学元件的关键参数。在ARM9硬件开发平台下使用嵌入式操作系统WINCE5．0，通过Embedded C＋＋实现了导轨直线度误差值等的相关算法。系统实时计算相邻信号之间的相位差，简化了激光光束准直度调校测量设备的装调工作；根据信号幅值大小控制信号增益，实现精确检测大尺寸导轨直线度误差的功能。整个系统测量精度高，集成度高，便携性强，可应用于各种工业环境与室外测量。

为了解决长导轨直线度传统测量方法中存在的问题，研制了一种基于楔形板的便携式激光干涉准直系统。系统采用16位高性能单片机MSP430进行数据处理，利用软件滤除测量数据中包含的交流信号，然后再通过D／A转换器对处理电路进行反馈控制，以消除光电信号中包含的不断变化的直流电平信号，从而提高系统的测量精度。系统的测量数据通过无线模块实时地发送给与PC相连的无线基站，再通过USB接口传送给PC，可以方便测量数据的记录与保存。

为实现10-5N以下微小力值的测量及溯源,提出了一种高精度、可溯源至质量的微小力值测量系统,采用受控静电力发生装置复现微小力值,其基本工作原理是基于一种精密设计的圆柱形电容器,电容器内外电极同轴,外电极固定不动作为参考电极,内电极由弹性机构支撑和导向,通过改变内外电极间的电压产生静电力,从而将力学量追溯至电容及电压等电学量,利用砝码质量与静电力平衡的原理,可以实现微小力值的溯源。实验结果表明：电容变化梯度为0.82 pF/mm,完全可以复现10-6~10-9N范围内的静电力。