本文介绍一种基于光栅传感器的位移测量仪。它通过硬件电路对2个光栅传感器输出的信号分别进行20细分,然后对细分后的信号分别进行辨向和计数,再使用一个微处理器对辨向信号和计数信号进行处理,得到X-Y工作台在坐标X和坐标Y方向的位移值,最后根据误差修正算法对位移测量值进行修正,得到该仪器的测量分辨率为1μm且测量精度达±2μm（1σ）。此外,所研制的测量仪具有可靠、易于扩展和调试方便的特点。

介绍一种用于光学测量投影仪的角位移测量仪。它通过硬件电路对一个旋转编码器输出的角位移信号进行辨向和计数，再使用一个微处理器对辨向信号和计数信号进行处理，得到被测工件在Z旋转方向的位移值，最后对位移测量值进行误差修正，得到该仪器的测量分辨率为1’且测量精度为±3．9’。实验表明：所研制的角位移测量仪具有准确、可靠的特点。

文中介绍的误差自修正方法是通过光栅位移测量系统中单片机对光栅传感器的多个零位信号进行计数,并根据测量值和系统设定值得到的误差函数自动进行误差修正。实验结果表明,该方法对光栅位移测量系统的误差既可自动进行有效的修正,又可提高系统的测量精度。